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我的星河科技周飞宇李诗涵

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第九十一章 芯片与光刻
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  片,尽管测试样成功,但良率极低,线路精度达不到。除了设备精度之外,光刻胶也是很重要的一个原因……”

  随后的会议上,余龙光和周飞宇聊起了中正公司的一些情况,聊起了光刻胶的事情。

  中正公司内部的机密,余龙光肯定是不能透露的,说的都是一些能说的,或者是他对外界还未公布的一些细节。

  这时,会议室内除了中正公司的人和周飞宇,其它人都被清场出去了。

  按余龙光的说法,为了保密,请周飞宇理解一下。

  “光敏型的聚酰亚胺材料?”

  周飞宇心中一动,脑海里立即浮现出有关“中级薄膜技术”中针对超薄、特殊性能的薄膜的一些相关知识。

  其中,的确提到可用于光刻胶的一些光敏型聚酰亚胺材料。

  光刻胶,顾名思义,用于光刻的一种胶。

  所谓光刻,字面意思就是用光去雕刻。

  当然,自然界的光,以及各种极紫外线,是无法直接像一把刀一样去雕刻东西的,只有那种具有超高能量的激光之类,才能用于直接雕刻。

  在芯片领域的光刻,是利用某些具有对光线非常敏感特性的胶,均匀涂抹在晶圆上,然后再在胶的表面贴付一层薄膜,这层薄膜被设计成需要的电路图案。光线从电路图案中穿过,照射到胶的表面,胶因为对光线敏感于是发生反应,显露出和电路图案相同或相反的电路图案来,那些没有被光线照射到的地方,自然还是被胶覆盖着。

  然后,将晶圆浸入特制的溶液当中。

  如此一来,被胶覆盖着的地方,晶圆被保护了起来,没有变化。而那些没有胶的地方,特制溶液就将晶圆腐蚀了。

  腐蚀的痕迹,自然就和电路图案相同或者相反。

  晶圆从特殊溶液中取出,用纯净水一冲,上面就留下了所需要的电路图案。

  所以,与其说是光刻,不如说是蚀刻,腐蚀雕刻,只是这种“腐蚀雕刻”比一般所说的腐蚀雕刻在精度上高了N个等级,不可同日而语,所以起了个比较高大上的名字“光刻”。

  大致原理如此,但知易行
第九十一章 芯片与光刻(2/3).继续阅读
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